單晶生長(cháng)爐是一種用于生長(cháng)單晶材料的設備,以下將從其工作原理、結構組成、應用領(lǐng)域等維度展開(kāi)詳細介紹: 1.工作原理 直拉法:把多晶材料放入石英坩堝內,用石墨加熱器加熱使其熔化。將籽晶固定在籽晶軸上,插入熔體表面,待籽晶與熔體熔合后,慢慢向上拉籽晶,同時(shí)控制籽晶的旋轉速度,晶體便會(huì )在籽晶下端生長(cháng)。通過(guò)控制拉速、溫度、坩堝轉速等參數,實(shí)現晶體的生長(cháng),如單晶硅的生長(cháng)大多采用直拉法。
超高溫燒結爐是一種能在較高溫度環(huán)境下對材料進(jìn)行燒結處理的設備,以下是其詳細介紹: 1.工作原理 電阻加熱:利用電流通過(guò)導體(如石墨發(fā)熱體)產(chǎn)生熱量,遵循焦耳定律,即熱量與電流的平方、導體電阻和通電時(shí)間成正比。如在一些采用石墨發(fā)熱體的超高溫燒結爐中,通過(guò)大電流使石墨發(fā)熱,產(chǎn)生 2000℃以上的高溫。